在芯片制造过程中,胶水的热稳定性是影响芯片可靠性、封装良率及长期工作性能的核心指标之一。点胶机对胶水热稳定性的要求需结合芯片工作环境(高温、热循环)、封装工艺(如回流焊、固化温度)及材料间热匹配性,具体要求如下:
一、热稳定性的核心指标:玻璃化转变温度(Tg)与热膨胀系数(CTE)
1. 玻璃化转变温度(Tg):高温环境下的形态保持能力
定义与意义:Tg 是胶水从玻璃态(硬脆)转变为高弹态(软化)的临界温度。若芯片工作温度超过 Tg,胶水会软化、变形,导致芯片位移、焊点应力集中甚至失效。
具体要求:
通用逻辑芯片 / 存储芯片:工作温度通常≤85℃,胶水 Tg 需>125℃(留足 40℃以上安全裕量),例如环氧树脂基底部填充胶的 Tg 普遍在 150 - 180℃。
汽车电子 / 工业芯片:工作温度可达 125℃,胶水 Tg 需>150℃,部分高可靠性场景(如发动机控制芯片)要求 Tg>180℃,例如氰酸酯树脂胶的 Tg 可达 200℃以上。
功率芯片 / 散热模块:工作温度常超 150℃,需使用耐高温胶水,如硅凝胶(Tg<-50℃,但热分解温度>250℃)或陶瓷填充胶(Tg>250℃)。
失效案例:某 4G 基站芯片因底部填充胶 Tg=120℃,在夏季高温下(芯片表面温度 110℃)长期运行后,胶水软化导致焊点开裂,通信中断率提升 30%。
2. 热膨胀系数(CTE):与芯片 / 基板的热匹配性
匹配需求:芯片(硅,CTE≈3ppm/℃)与基板(如 FR-4,CTE≈15 - 20ppm/℃)的 CTE 差异显著,胶水需作为 “缓冲层”,其 CTE 需介于两者之间,避免热应力集中。
具体指标:
倒装芯片底部填充胶:CTE 需<10ppm/℃,理想范围 5 - 8ppm/℃,例如添加纳米二氧化硅填料的环氧树脂胶可将 CTE 降至 6ppm/℃。
晶圆级封装(WLP)胶水:因芯片与基板直接贴合,CTE 需更接近硅(3 - 5ppm/℃),常采用硅烷改性环氧树脂或氰酸酯材料。
失效机制:若胶水 CTE 过高(如 20ppm/℃),在 - 40℃ - 125℃热循环中,胶水反复膨胀收缩会对芯片产生剪切应力,导致焊点(如锡球)疲劳开裂,典型失效周期<500 次循环。
二、芯片制造各环节对胶水热稳定性的具体要求
1. 封装工艺中的高温耐受性
回流焊工艺:倒装芯片键合时需经历 240 - 260℃回流焊,胶水需在此温度下不分解、不挥发。例如,底部填充胶需通过 260℃/10 分钟热冲击测试,质量损失率<0.5%,且冷却后无开裂、分层。
固化温度兼容性:胶水固化温度需低于芯片耐受极限(硅芯片通常≤200℃)。例如,UV 固化胶可在室温下快速固化,避免高温影响;热固化胶若用于薄型芯片,需低温固化(如 120℃/30 分钟),且固化过程中热应力<50MPa。
2. 长期工作中的热老化抗性
高温老化测试:胶水需通过 125℃/1000 小时高温老化测试,性能衰减需<10%,具体指标包括:
拉伸强度保留率>90%;
体积电阻率下降<1 个数量级;
与芯片界面的剥离强度>5N/mm。
热循环可靠性:按 JEDEC JESD22 - A104 标准进行 - 40℃ - 125℃循环测试(1000 次),胶水需满足:
内部无气泡、裂纹;
芯片偏移量<1μm;
焊点阻抗变化<5%。
三、特殊场景下的热稳定性强化需求
1. 高功率芯片的散热与热循环缓冲
导热与热稳定性协同:功率芯片(如 IGBT)工作时温度梯度大(芯片结温 150℃,基板温度 80℃),胶水需同时具备高导热(λ>5W/(m・K))和低热膨胀:
例:氮化硼(BN)填充的环氧树脂胶,CTE=7ppm/℃,导热系数 6W/(m・K),可在 175℃长期工作。
热冲击抗性:电动车逆变器芯片在启动 / 关闭时会经历剧烈温度变化(50℃ - 125℃瞬时波动),胶水需通过热冲击测试(-55℃ - 150℃,1000 次),裂纹萌生时间>500 次循环。
2. 先进封装(3D IC)的低热应力需求
多层堆叠场景:3D 封装中芯片堆叠高度达数百微米,胶水热膨胀若不均匀,会导致层间错位。例如,TSV(硅通孔)封装用胶需 CTE 在 x/y/z 轴方向差异<1ppm/℃,且 Tg>180℃以抵抗多层固化工艺的热累积。
低温工艺适配:混合键合(Hybrid Bonding)等先进工艺要求胶水在 100℃以下固化,且固化后 CTE<4ppm/℃,目前多采用含硼酸盐填料的低温烧结胶。
四、热稳定性与点胶工艺的协同优化
点胶机温度控制:
对热敏感胶水(如含低沸点溶剂的胶水),点胶机需配备恒温料筒(25±1℃),避免胶水因温度波动导致粘度变化,影响点胶精度。
高粘度导热胶需预热至 40 - 60℃以降低粘度,点胶机需支持料筒预热功能,同时确保温度均匀性误差<±2℃。
热稳定性测试与工艺匹配:
点胶前需通过 DSC(差示扫描量热法)测试胶水 Tg,确认与芯片工作温度的安全裕量;
采用热机械分析仪(TMA)测量胶水 CTE,确保与基板 / 芯片的匹配性,例如某倒装芯片方案中,胶水 CTE=8ppm/℃,基板 CTE=12ppm/℃,芯片 CTE=3ppm/℃,通过有限元分析验证热应力<30MPa。
五、行业标准与认证体系
JEDEC 标准:
JESD22 - A113:芯片封装材料热稳定性测试方法;
JESD22 - A108:高温工作寿命测试标准(125℃/1000 小时)。
汽车电子认证:
AEC - Q101:分立器件认证中,胶水需通过 150℃/1000 小时老化,CTE 变化<10%;
IATF 16949:要求胶水供应商提供热循环(-40℃ - 150℃,1000 次)后的失效分析报告。
总结:热稳定性是芯片可靠性的 “温度防线”
胶水的热稳定性不仅关乎材料本身的分子结构(如交联密度、填料类型),更需与点胶工艺(温度控制、胶量分布)、芯片工作场景(稳态高温、瞬态热冲击)深度耦合。例如,在 5G 基站芯片中,采用 Tg=180℃、CTE=6ppm/℃的改性环氧树脂胶,搭配点胶机的恒温喷射系统,可使芯片在 85℃高温下稳定工作 5 年以上,失效率<0.1ppm。未来随着芯片集成度提升,胶水热稳定性要求将向 “超高温耐受(>200℃)” 与 “零热应力(CTE≈硅)” 方向发展,推动点胶技术与材料科学的协同创新。
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